文档包含正文，附件：设备技术规格书、验收标准及程序、培训计划、售后服务方案。
玻璃镀膜设备采购合同
甲方（买方）：____
地址：____
法定代表人：__
联系电话：____
乙方（卖方）：____
地址：____
法定代表人：__
联系电话：____
根据《中华人民共和国民法典》及相关法律法规，甲乙双方在平等自愿、协商一致的基础上，就甲方向乙方采购玻璃镀膜设备事宜，达成如下协议：
第一条 合同标的
1.1 设备名称、规格型号及数量：
a) 真空镀膜机 型号：ZK-3000，数量：2台
b) 溅射镀膜机 型号：SP-5000，数量：1台
1.2 技术参数及性能指标：
a) 真空镀膜机 ZK-3000：
- 腔体尺寸：3000mm × 2000mm × 1500mm
- 极限真空度：≤5×10^-5 Pa
- 抽气速率：≥20000 L/s
- 基板温度范围：室温~300℃，精度±2℃
- 镀膜均匀性：±2%（在Φ1000mm范围内）
- 镀膜速率：1~10 nm/s可调
- 膜厚监控：高精度石英晶体监控仪，分辨率0.1nm
b) 溅射镀膜机 SP-5000：
- 靶材尺寸：直径200mm，4个靶位
- 溅射功率：DC 5kW，RF 1kW
- 基板尺寸：最大500mm × 500mm
- 膜厚均匀性：±3%（在400mm × 400mm范围内）
- 多层膜自动控制：≤10层，每层厚度独立可控
- 溅射气体：Ar, 2, N2，流量精确控制
1.3 配套设备及附件：
真空泵组（包括机械泵、罗茨泵、分子泵）各2套
靶材（包括Ti, Al, Si, Cr各2个）
石英晶体传感器 20个
基板旋转系统 2套
温度控制系统 2套
气体流量控制器 8个
专用控制软件 2套（含终身免费升级）
第二条 合同价格
2.1 合同总价：人民币壹仟贰佰万元整（￥12,000,000.00）
下一页
