文档包含正文，附件：超纯水系统维护设备清单、超纯水水质监测报告模板、维护人员资质及培训记录、维护服务应急预案、耗材清单及更换记录、维护服务评价表。
微电子与半导体行业超纯水系统维
护协议
合同编号：
签订地点：
签订日期：
合同当事方：
1.甲方（客户方）：
o名称：
o地址：
o法定代表人：
o联系电话：
2.乙方（服务提供方）：
o名称：
o地址：
o法定代表人：
o联系电话：
3.第三方（如适用，监测方）：
o名称：
o地址：
o法定代表人：
o联系电话：
第一章总则
第1条协议目的
甲乙双方为确保微电子与半导体行业超纯水系统的稳定、高效、持续运行，特签订
本协议。协议规定了系统的维护标准、质量验收、费用支付、服务责任和违约条
款，确保乙方为甲方提供符合约定标准的超纯水系统维护服务。
第2条合同范围
1.本合同适用于甲方委托乙方维护的超纯水系统，包括但不限于超纯水制备设
备、管路系统、储存及配发装置、监测设备及相关软件系统。
2.系统维护涉及的工作包括常规维护、预防性检查、故障诊断与修复、零部件
更换、系统校准和优化、在线及离线水质监测。
